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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)(Thermal Mass Flowmeters,縮寫為TMF)的探頭是流量計(jì)的主要部件之一,是由速度傳感器(Tv)和溫度傳感器(Ta)組合而成,利用熱擴(kuò)散原理,采用恒功率(或恒溫差)控制方式。流量計(jì)工作時(shí),速度傳感器(Tv)被加熱,溫度傳感器(Ta)測量周圍溫度,氣體流過時(shí)帶走熱量,不同的氣體質(zhì)量流量會(huì)帶走不同的熱量,從而取得氣體質(zhì)量流量與兩傳感器的溫差(或?qū)λ俣葌鞲衅鞯募訜峁β?的關(guān)系。原理上,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)不需要溫度壓力補(bǔ)償即可直接測量得到氣體的質(zhì)量流量。